# EUV光刻機  

中國在美國晶片制裁下積極實現半導體製造自主，而在生產過程最為重要的光刻機發展上，近期傳出有所突破。媒體人烏凌翔在節目《烏鴉笑笑》中提到，中國有一座比較先進的自製光刻機近來已交付中芯（SMIC），推測應是由深圳新凱來所製造出的原型機，不過距離實際的應用，仍有一大段的距離需要克服。

說起蔡司，大家會直接聯想到的是什麼？眼鏡的鏡片？相機的鏡頭？還是跟台積電有著間接關係的蔡司半導體？不管是那個部門，隨便都是年營收上千萬歐元的事業。這次壹哥前往位在德國符騰堡州（Baden-Württemberg）的上科亨（Oberkochen），做了一次相當難得的蔡司總部直擊與相關訪談，跟大家分享蔡司的過去、現在與未來。

中國哈爾濱工業大學日前在官方新聞網宣布，「放電等離子體極紫外光刻光源」2個項目獲得獲黑龍江省高校和科研院所職工科技創新成果轉化大賽一等獎，顯示被稱為「曝光機心臟」的極紫外（EUV）光源技術有了突破。對此，媒體人唐湘龍分析，中國看似正努力度過美國的科技打壓封鎖，但是今年有可能用彎道的方式，從跟隨者變成走到前面的人。

拜登政府下台前祭出史無前例嚴厲的晶片管制措施，如果川普上台後延續其措施，對全球晶片產業的衝擊與影響也將會是史無前例大，無論那些半導體廠商自我評估的真假對錯，但要不受影響是不可能，即使強如台積電亦無例外，這些措施甚至可能重塑產業與全球貿易體制。

中國工業和信息化部公布了一份重大技術裝備推廣目錄，其中包括一項國產「氟化氬光刻機」（DUV光刻機）。這台DUV光刻機的核心技術指標包括：晶圓直徑300mm、照明波長248nm、分辨率≦65nm、套刻≦8nm。中國媒體指出，這意味著中國已可自主生產「8奈米及以下的晶片」。

全球半導體設備大廠艾司摩爾所生產的極紫外光曝光機（EUV）被譽為地表最複雜的機器，該公司歷經10年研發，推出最新一代曝光機（HighNAEUV），造價高達3.8億美元（相當新台幣121.3億元）。而HighNAEUV產品管理副總裁史東斯（GreetStorms）是一位敢於向老闆說不的女性主管，她強調，「在艾司摩爾工作最棒的是，公司鼓勵員工勇於思辯，相互挑戰，找出最佳解決方案。」

台海局勢愈發緊張，近期中國動作頻頻，也促使國際關注侵台可能性，不少外媒都曾猜測地緣政治危機升高，對於半導體龍頭「護國神山」台積電的後果，可能就是被美國或台灣自行摧毀；國外卻有分析師認為，北京的目的可能就是想摧毀台積電，藉此重創台灣和南韓的半導體，因為這樣一來，中國晶片才可能崛起，進一步超越美國。

荷蘭半導體設備巨頭艾司摩爾（ASML）計畫於2030年推出針對1奈米以下製程的Hyper-NA極紫外光機（EUV），然而有韓媒認為，雖然這是半導體產業邁入埃米（angstrom）時代的必要設備，要價多達7.24億美元（折合約237億台幣）以上的高昂生產成本恐怕會讓台積電、三星、英特爾都望而卻步。

中國通訊科技巨頭華為號稱要超越在中國市佔率90%的輝達A100，卻因為美國制裁因素，再加上中芯國際代工的良率極低、設備頻繁故障，導致華為的第二代AI晶片「昇騰910B」難以擴充產能。

日前大陸官媒「央視軍事」發布一段影片，指中國航天科工二院699廠特級技師葉輝是頂級研磨師，憑藉一雙巧手，實現了5奈米的超精密研磨。並稱，葉輝研磨的鉭片，表面粗糙度達到5奈米等級，只有特殊儀器才能檢測。影片一出，隨即遭到網友無情嘲諷，笑稱「離手造晶片不遠了吧？」「徒手造晶片？」「手搓晶片實錘了！」

香港英文報紙《南華早報》1日引述知情人士說法，報導了北方華創科技集團（NauraTechnologyGroup）正在研發光刻系統的消息，華為也申請了「自對準圖案四重化」（SAQP）的專利。雖然目前還不知道何時會有成果，但《南華早報》說，中國廠商正在嘗試各種變通方法，希望能在沒有艾司摩爾（ASML）光刻機支援的情況下自力生產五奈米晶片，突破美國對中國晶片製造能力的打壓。

英特爾（Intel）執行長季辛格（PatGelsinger）近日出席瑞士達沃斯世界經濟論壇（WEF）時指出，他認為中國在晶片製程方面落後10年。

美中科技競爭氛圍中，中國晶片企業搶購半導體設備。中國今年9月從荷蘭進口曝光機數量、金額激增；荷蘭半導體設備供應商艾司摩爾（ASML）第3季在中銷售額占其整體比重達46%。

美國政府通過國會授權設立的一家機構發布報告稱，中國在美國以及荷蘭和日本先後發布晶片禁令之間的時間空檔內，大幅提高了進口晶片製造設備的金額。另有市場調查數據顯示，華為手機10月銷量飆升83%。

拜登政府本周擴大了針對中國晶片行業的限制措施，旨在阻止北京獲得美國尖端技術來加強其軍事力量。過去一段時間，中國半導體設備領域發展迅速，但本土廠商仍缺乏提供EUV等全套設備的能力。

路透社報導，為限縮中國的晶片產業發展，美國和荷蘭將再次聯手，要求企業出口高階晶片設備到中國應申請許可證。兩國將分別採取哪些措施？對於近期多項出口管制，業界人士怎麼看？

拜登（JoeBiden）政府成功把日本和荷蘭拉上對華晶片出口限制的戰車，這是美國外交的一個勝利。但維持這一戰略將需要做實質性的工作。

農曆春節期間，美國在半導體晶片領域對中國發起的限制進一步升級。

我請專家為我解說EUV光刻機的構造和原理，光聽就覺得規模大到令人聞之生畏，技術更是艱難得超乎想像。

台積電先進製程極紫外光（EUV）的製造商荷蘭ASMLHolding，上周公布第二季業績，營收較上年增長35%，至54億歐元（合55億美元）；第二季利潤增長36%，達到14億歐元。