# DUV微影機  

消息人士表示，中國已開始量產自主研發的浸潤式深紫外線（DUV）微影機，這項先進晶片製造關鍵設備，象徵北京降低對外國技術依賴的努力邁出重要一步。路透社報導，因事涉敏感而要求匿名的消息人士表示，這項生產計畫由鮮為人知的中國國有企業上海愛晟納電子科技集團主導。該公司整合多家中國頂尖微影新創公司的研發團隊後，正式展開量產。NXE3400B內部EUV 光源、液滴產生器......